ਸਪਟਰਿੰਗ ਟਾਰਗੇਟਸ ਸ਼੍ਰੇਣੀ ਨੂੰ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਵੰਡਿਆ ਗਿਆ

ਇਸ ਨੂੰ ਡੀਸੀ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਆਰਐਫ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਡੀਸੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿਧੀ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਕਿ ਟੀਚਾ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਤੋਂ ਪ੍ਰਾਪਤ ਹੋਏ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਚਾਰਜ ਨੂੰ ਇਸਦੇ ਨਜ਼ਦੀਕੀ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਕੈਥੋਡ ਵਿੱਚ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਇਹ ਵਿਧੀ ਸਿਰਫ ਕੰਡਕਟਰ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਸਪਟਰ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਡੇਟਾ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਟੀਚੇ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਆਇਨ ਚਾਰਜ ਨੂੰ ਬੇਅਸਰ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸੰਭਾਵੀ ਵਾਧਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਲਗਭਗ ਸਾਰੀ ਲਾਗੂ ਕੀਤੀ ਵੋਲਟੇਜ ਟੀਚੇ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸਲਈ ਆਇਨ ਪ੍ਰਵੇਗ ਅਤੇ ਆਇਨੀਕਰਨ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਦੋ ਖੰਭਿਆਂ ਨੂੰ ਘਟਾਇਆ ਜਾਵੇਗਾ, ਜਾਂ ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ionized ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਹ ਲਗਾਤਾਰ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੀ ਅਸਫਲਤਾ, ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ਡਿਸਚਾਰਜ ਰੁਕਾਵਟ ਅਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਰੁਕਾਵਟ ਵੱਲ ਖੜਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਲਈ, ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਸਪਟਰਿੰਗ (RF) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਘਟੀਆ ਚਾਲਕਤਾ ਵਾਲੇ ਟੀਚਿਆਂ ਜਾਂ ਗੈਰ-ਧਾਤੂ ਟੀਚਿਆਂ ਨੂੰ ਇੰਸੂਲੇਟ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।

ਸਪਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਸਕੈਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਊਰਜਾ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ: ਪਹਿਲਾਂ, ਘਟਨਾ ਵਾਲੇ ਕਣ ਲਚਕੀਲੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਟੀਚੇ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਘਟਨਾ ਵਾਲੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗਤੀ ਊਰਜਾ ਦਾ ਹਿੱਸਾ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਵਿੱਚ ਸੰਚਾਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ।ਕੁਝ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਊਰਜਾ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਆਲੇ ਦੁਆਲੇ ਦੇ ਹੋਰ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਈ ਗਈ ਸੰਭਾਵੀ ਰੁਕਾਵਟ (ਧਾਤਾਂ ਲਈ 5-10ev) ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਉਹ ਬਾਹਰ-ਸਾਈਟ ਪਰਮਾਣੂ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਲਈ ਜਾਲੀ ਵਾਲੀ ਜਾਲੀ ਤੋਂ ਬਾਹਰ ਕੱਢੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਨਾਲ ਲੱਗਦੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨਾਲ ਹੋਰ ਵਾਰ-ਵਾਰ ਟਕਰਾਉਂਦੇ ਹਨ। , ਇੱਕ ਟੱਕਰ ਕੈਸਕੇਡ ਵਿੱਚ ਨਤੀਜੇ.ਜਦੋਂ ਇਹ ਟਕਰਾਅ ਕੈਸਕੇਡ ਟੀਚੇ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚਦਾ ਹੈ, ਜੇਕਰ ਟੀਚੇ ਦੀ ਸਤਹ ਦੇ ਨੇੜੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਗਤੀ ਊਰਜਾ ਸਤਹ ਬਾਈਡਿੰਗ ਊਰਜਾ (ਧਾਤਾਂ ਲਈ 1-6ev) ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਪਰਮਾਣੂ ਟੀਚੇ ਦੀ ਸਤਹ ਤੋਂ ਵੱਖ ਹੋ ਜਾਣਗੇ। ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋਵੋ।

ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਚਾਰਜ ਕੀਤੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦਾ ਹੁਨਰ ਹੈ ਜੋ ਟੀਚੇ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਵੈਕਿਊਮ ਵਿੱਚ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਨ ਲਈ ਬੰਬਾਰਡ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਤੇ ਇਕੱਠਾ ਕਰਨ ਲਈ ਹੈ।ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਇੱਕ ਘੱਟ-ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਇਨਰਟ ਗੈਸ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਘਟਨਾ ਆਇਨਾਂ ਨੂੰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਕੈਥੋਡ ਟਾਰਗੇਟ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਐਨੋਡ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ 0.1-10pa ਆਰਗਨ ਜਾਂ ਹੋਰ ਅੜਿੱਕਾ ਗੈਸ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੈਥੋਡ (ਟਾਰਗੇਟ) 1-3kv DC ਨੈਗੇਟਿਵ ਹਾਈ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਤਹਿਤ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਵੋਲਟੇਜ ਜਾਂ 13.56MHz RF ਵੋਲਟੇਜ।ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਆਰਗਨ ਆਇਨ ਟੀਚੇ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਟੀਚੇ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂ ਛਿੜਕਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿਧੀਆਂ ਹਨ, ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਕੰਡਰੀ ਸਪਟਰਿੰਗ, ਤੀਸਰੀ ਜਾਂ ਕੁਆਟਰਨਰੀ ਸਪਟਰਿੰਗ, ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ, ਟਾਰਗੇਟ ਸਪਟਰਿੰਗ, ਆਰਐਫ ਸਪਟਰਿੰਗ, ਬਿਆਸ ਸਪਟਰਿੰਗ, ਅਸਮੈਟ੍ਰਿਕ ਕਮਿਊਨੀਕੇਸ਼ਨ ਆਰਐਫ ਸਪਟਰਿੰਗ, ਆਇਨ ਬੀਮ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਰੀਐਕਟਿਵ ਸਪਟਰਿੰਗ।

ਕਿਉਂਕਿ ਧੱਬੇ ਹੋਏ ਪਰਮਾਣੂ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਦਹਾਈ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਵੋਲਟ ਊਰਜਾ ਦੇ ਨਾਲ ਗਤੀ ਊਰਜਾ ਦਾ ਆਦਾਨ-ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਬਾਹਰ ਨਿਕਲਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਸਪਟਰ ਕੀਤੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਸਟੈਕਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਫੈਲਣ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਸੁਧਾਰਨ, ਸਟੈਕਿੰਗ ਵਿਵਸਥਾ ਦੀ ਬਾਰੀਕਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਅਤੇ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਫਿਲਮ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਨਾਲ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​​​ਅਸਥਾਨ ਹੈ.

ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਗੈਸ ਦੇ ਆਇਨਾਈਜ਼ਡ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਗੈਸ ਆਇਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਤਹਿਤ ਕੈਥੋਡ ਨਾਲ ਜੁੜੇ ਟੀਚੇ ਵੱਲ ਉੱਡਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਜ਼ਮੀਨੀ ਕੰਧ ਦੇ ਖੋਲ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੱਲ ਉੱਡਦੇ ਹਨ।ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਘੱਟ ਵੋਲਟੇਜ ਅਤੇ ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਹੇਠ, ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਗਿਣਤੀ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਟੀਚੇ ਦੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਾਵਰ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ;ਉੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਅਤੇ ਉੱਚ ਦਬਾਅ 'ਤੇ, ਹਾਲਾਂਕਿ ਜ਼ਿਆਦਾ ਆਇਨ ਹੋ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੱਲ ਉੱਡਣ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਗਰਮ ਕਰਨ ਲਈ ਆਸਾਨ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ਸੈਕੰਡਰੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵੀ, ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ।ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਉੱਡਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਚ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਅਤੇ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਟਕਰਾਅ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਵੀ ਬਹੁਤ ਵਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਇਸ ਲਈ, ਇਹ ਪੂਰੀ ਕੈਵਿਟੀ ਵਿੱਚ ਖਿੰਡੇ ਜਾਣਗੇ, ਜੋ ਨਾ ਸਿਰਫ ਟੀਚੇ ਨੂੰ ਬਰਬਾਦ ਕਰੇਗਾ, ਸਗੋਂ ਮਲਟੀਲੇਅਰ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਦੌਰਾਨ ਹਰੇਕ ਪਰਤ ਨੂੰ ਵੀ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਿਤ ਕਰੇਗਾ।

ਉਪਰੋਕਤ ਕਮੀਆਂ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਲਈ, 1970 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਵਿੱਚ ਡੀਸੀ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵਿਕਸਿਤ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ।ਇਹ ਘੱਟ ਕੈਥੋਡ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦਰ ਦੀਆਂ ਕਮੀਆਂ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਵਾਧੇ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਦੂਰ ਕਰਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਲਈ, ਇਸ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਵਿਕਸਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ ਅਤੇ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਗਿਆ ਹੈ.

ਸਿਧਾਂਤ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹੈ: ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਕਿਉਂਕਿ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਚੁੰਬਕੀ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਲੋਰੇਂਟਜ਼ ਬਲ ਦੇ ਅਧੀਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਉਹਨਾਂ ਦੀ ਗਤੀ ਦੀ ਔਰਬਿਟ ਕਠੋਰ ਜਾਂ ਸਪਿਰਲ ਮੋਸ਼ਨ ਵੀ ਹੋਵੇਗੀ, ਅਤੇ ਉਹਨਾਂ ਦੀ ਗਤੀ ਦਾ ਮਾਰਗ ਲੰਬਾ ਹੋ ਜਾਵੇਗਾ।ਇਸ ਲਈ, ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾਉਣ ਦੀ ਗਿਣਤੀ ਵਧਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਜੋ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਘਣਤਾ ਵਧਾਈ ਜਾਵੇ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦਰ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਦੀ ਪ੍ਰਵਿਰਤੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਲਈ ਘੱਟ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵੋਲਟੇਜ ਅਤੇ ਦਬਾਅ ਹੇਠ ਕੰਮ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ;ਦੂਜੇ ਪਾਸੇ, ਇਹ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਘਟਨਾ ਦੀ ਊਰਜਾ ਨੂੰ ਵੀ ਸੁਧਾਰਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਕਾਫੀ ਹੱਦ ਤੱਕ ਸੁਧਾਰਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਦੇ ਨਾਲ ਹੀ, ਜਦੋਂ ਕਈ ਟਕਰਾਵਾਂ ਰਾਹੀਂ ਊਰਜਾ ਗੁਆਉਣ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਐਨੋਡ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਉਹ ਘੱਟ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਬਣ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਜ਼ਿਆਦਾ ਗਰਮ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦਾ।ਇਸ ਲਈ, ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿੱਚ "ਹਾਈ ਸਪੀਡ" ਅਤੇ "ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ" ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ।ਇਸ ਵਿਧੀ ਦਾ ਨੁਕਸਾਨ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਇੰਸੂਲੇਟਰ ਫਿਲਮ ਤਿਆਰ ਨਹੀਂ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਅਸਮਾਨ ਚੁੰਬਕੀ ਖੇਤਰ ਟੀਚੇ ਦੀ ਸਪੱਸ਼ਟ ਅਸਮਾਨ ਐਚਿੰਗ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦੀ ਹੈ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਟੀਚੇ ਦੀ ਘੱਟ ਵਰਤੋਂ ਦਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਰਫ 20% - 30 ਹੁੰਦੀ ਹੈ। %